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Labco · 外部技術品牌

粒子監測與環境管理

以四大主力分類導覽:固定式粒子計數、Wafer Type 監測、監控軟體、Web Server/LTE。

品牌技術範圍

Fixed Particle Counter

LPC-R203PLUS / LPC-R205 為主,支援 24/7 連續監測與多通訊介面整合。

Wafer Type Counter

WPMS/VPMS 針對晶圓與設備區域提供近端粒子監測,支援軟體整合與資料追溯。

Monitoring Platform

MPC Monitor / TEMS / Web Server (LTE) 形成完整監控與告警體系。

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